《集成电路电子设计自动化工具 OPC建模工具输入数据格式》标准立项修订与发展报告.docx

《集成电路电子设计自动化工具OPC建模工具输入数据格式》标准立项修订与发展报告

集成电路电子设计自动化工具OPC建模工具输入数据格式标准发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportonStandardforInputDataFormatofOPCModelingToolsinIntegratedCircuitElectronicDesignAutomationTools

摘要

随着集成电路制造工艺不断向纳米级节点演进，光学邻近效应校正（OPC）技术已成为确保芯片制造良率的关键环节。OPC建模工具作为电子设计自动化（EDA）工