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- 2026-06-04 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119758669A
(43)申请公布日2025.04.04
(21)申请号202411938360.6
(22)申请日2024.12.26
(71)申请人福建泓光半导体材料有限公司
地址363118福建省漳州市高新区九湖镇
林前村林前773号
(72)发明人王晓雄王静曾成财
(74)专利代理机构厦门荔信律和知识产权代理
有限公司35282
专利代理师赖秀华
(51)Int.Cl.
G03F7/11(2006.01)
权利要求书2页说明书9页
(54)发明名称
一种抗蚀剂下层膜形成用组合物及其制备
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