CN119764204A 获取晶圆偏移量的方法及晶圆测量前机械手点位示教方法 (泰微科技(珠海)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-04 发布于重庆
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CN119764204A 获取晶圆偏移量的方法及晶圆测量前机械手点位示教方法 (泰微科技(珠海)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119764204A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411929754.5G01B11/24(2006.01)

G01B11/26(2006.01)

(22)申请日2024.12.26

G01B11/00(2006.01)

(71)申请人泰微科技(珠海)有限公司B25J9/22(2006.01)

地址519000广东省珠海市香洲区福田路

10号厂房1一层-2、三层-2

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