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电容式柔性压力传感器的结构设计优化结题报告

一、现有电容式柔性压力传感器的结构痛点分析

电容式柔性压力传感器的核心工作原理基于平行板电容模型，即电容值与极板正对面积成正比、与极板间距成反比（(C=\frac{\varepsilonS}{d})，其中(\varepsilon)为介电常数，(S)为极板正对面积，(d)为极板间距）。在实际应用中，传统结构的传感器暴露出多维度性能短板，成为制约其商业化落地的关键瓶颈。

（一）线性响应区间狭窄

传统平行板结构的传感器在受到外力时，极板间距随压力变化呈现非线性特征。当压力较小时，极板间距变化率大，电容值急剧上升；当压力超过临界值后，柔性介电层被压缩至极限，间距变化率趋近于零，电容值进入平台期。这种“陡升-缓平”的响应曲线导致传感器仅在0-50kPa的低压区间内具备近似线性特性，而在50-500kPa的中高压区间误差率超过30%，无法满足智能穿戴设备中对人体不同部位（如指尖压力约200kPa、足底压力约400kPa）的精准监测需求。

（二）灵敏度与量程的固有矛盾

为提升灵敏度，传统设计通常采用减小极板间距或使用高介电常数材料的方法，但这两种方式均会牺牲量程。例如，将介电层厚度从100μm降至20μm，灵敏度可提升4倍，但量程会从500kPa骤降至100kPa；若采用介电常数为100的钛酸钡颗粒填充PDMS材料，灵敏度提升2.5倍，但介电层的杨氏