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- 2026-06-04 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119753632A
(43)申请公布日2025.04.04
(21)申请号202411954145.5
(22)申请日2024.12.27
(71)申请人山东力冠微电子装备有限公司
地址250117山东省济南市槐荫区太平河
北路宽禁带半导体产业园E座
(72)发明人宋德鹏张尚浩姜良斌张正伟
(74)专利代理机构山东众成清泰律师事务所
37257
专利代理师丁修亭
(51)Int.Cl.
C23C16/44(2006.01)
C23C16/52(2006.01)
权利要求书1页说明书6页附图3页
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