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- 2026-06-04 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119781263A
(43)申请公布日2025.04.08
(21)申请号202411953487.5
(22)申请日2024.12.27
(71)申请人江苏昕感科技有限责任公司
地址214400江苏省无锡市江阴市澄江东
路99号
(72)发明人张幸陈建华
(74)专利代理机构北京惟专知识产权代理事务
所(普通合伙)16074
专利代理师赵星霍东岳
(51)Int.Cl.
G03F9/00(2006.01)
H01L21/68(2006.01)
H01L23/544(2006.01)
权利要
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