CN119764218A 改善rtp机台上晶圆长膜均匀性的方法 (长春长光正圆微电子技术有限公司).pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约2.11万字
  • 约 13页
  • 2026-06-04 发布于重庆
  • 举报

CN119764218A 改善rtp机台上晶圆长膜均匀性的方法 (长春长光正圆微电子技术有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119764218A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411930663.3

(22)申请日2024.12.26

(71)申请人长春长光正圆微电子技术有限公司

地址130000吉林省长春市经济技术开发

区浦东路3033号

(72)发明人刘思淼张海宇王昱程赵常宝

李彦庆

(74)专利代理机构长春众邦菁华知识产权代理

有限公司22214

专利代理师杨洁

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图2页

(54)发明名称

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档