CN202411745848.7-静电卡盘以及半导体工艺设备-发明公开.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122138658A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202411745848.7

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人孙诗壮叶华

(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理

有限公司11112

专利代理师彭瑞欣王婷

(51)Int.Cl.

H10P72/72(2026.01)

H10P72/00(2026.01)

H10P74/20(2026.01)

H01J37/32(2006.01)