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CN119648555A 关键尺寸扫描电子显微镜图像处理方法及电子设备 （广东省科学院半导体研究所）.docxVIP

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  • 2026-06-05 发布于山西
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CN119648555A 关键尺寸扫描电子显微镜图像处理方法及电子设备 （广东省科学院半导体研究所）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119648555A

    (43)申请公布日2025.03.18

    (21)申请号202510189081.2

    (22)申请日2025.02.20

    (71)申请人广东省科学院半导体研究所

    地址510651广东省广州市天河区长兴路

    363号

    (72)发明人刘珠明刘飒朱亚楠吴和明陈志涛赵维

    (74)专利代理机构北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙)11400

    专利代理师黄锦添

    (51)Int.Cl.

    G06T5/60(2024.01)

    G06N3/0455(2023.01

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