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时栅角位移传感器：自标定、误差修正与关键技术的深度探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业自动化和精密测量领域，角位移的精确测量至关重要，其广泛应用于机器人、航空航天、汽车制造、高档数控机床等关键行业。时栅角位移传感器作为一种新型的高精度位移测量装置，凭借其独特的“以时间测量空间”的传感机理，在诸多领域展现出了巨大的应用潜力。

时栅角位移传感器利用正交交变的电场构建等效空间域运动，建立起空间位移和时间当量之间的紧密联系，并以高频时钟脉冲作为位移测量基准，通过时间域的比较来实现高精度测量。这种创新的测量原理使得时栅传感器在测量精度、分辨率和环境适应性等方面相较于传统栅式位移传感器