CN120033113A 轨道中硅片流转异常监测方法、系统及存储介质 （上海昶火微电子科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120033113A

(43)申请公布日2025.05.23

(21)申请号202411911841.8G06N3/0464(2023.01)

(22)申请日2024.12.24

(71)申请人上海昶火微电子科技有限公司

地址201306上海市松江区佘山镇环山路2

号5栋102室

(72)发明人刘同连潘吉

(74)专利代理机构北京子焱知识产权代理事务

所(普通合伙)11932

专利代理师刘伟丽

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

C23C16/52(2