第四章空气洁净原理
本章学习要求
1、理解单向流、非单向流、辐流洁净室气流组织的概念,了解各种气流组织的主要形式。
2、重点掌握单向流洁净室的性能指标,非单向流洁净室的性能指标及各类洁净室的工作原理。
3、了解洁净室压差控制及缓冲与隔离的作用,掌
握压差控制及缓冲与隔离的常用方法。
4、了解洁净室流场数值模拟的相关知识
4.1洁净室气流组织
1、洁净室分类
特点:流向
单一、速度单向流洁净室
整个洁净室工作区(一般定义为距地0.7~1.5米的空间)的截面上通过的气流
为单向流的洁净室均匀、没有
为单向流的洁净室
上为非单非单向流洁净室(乱流洁净室)
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