CN202411757518.X-一种等离子体处理装置及控制方法-发明公开.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122136251A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202411757518.X

(22)申请日2024.12.02

(71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公

司

地址201201上海市浦东新区金桥出口加

工区（南区）泰华路188号

(72)发明人宋靖鹏李开元

(74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

公司31323

专利代理师王振徐雯琼

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

B08B7/00(2006.01)

B08B13/00(2006.01)