CN119654438A 用于碳掺杂含硅膜的组合物和使用该组合物的方法 （弗萨姆材料美国有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119654438A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202380045566.3

(22)申请日2023.05.10

(30)优先权数据

63/341,6352022.05.13US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.06

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0668442023.05.10

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2023/220650EN2023.11.16

(71)申请人弗萨姆材料美国有限责任公司地址美国亚利桑那州

(72)发明人S·G·马约加H·坎德拉雷新建

(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

11256

专利代理师吴亦华徐志明

(51)Int.Cl.

C23C16/24(2006.01)

C23C16/40(2006.01)

C23C16/34(2006.01)

C23C16/455(2006.01)

C23C16/44(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图4页

(54)发明名称

用于碳掺杂含硅膜的组合物和使用该组合

物的方法

(57)摘要

CN119654438A公开了一种组合物和在电