GBT 46191-2025电子级五（二甲氨基）钽PPT课件.pptxVIP

GB/T46191-2025电子级五（二甲氨基）钽

目录

02

技术要求

01

标准概述

03

测试方法

04

应用场景

05

质量控制

06

实施与维护

标准概述

01

产业需求驱动

五(二甲氨基)钽(PDMAT)作为原子层沉积(ALD)和化学气相沉积(CVD)工艺的关键前驱体，在制备氮化钽、氧化钽等高介电常数薄膜方面具有不可替代的作用，标准填补了国内相关技术规范的空白。

技术填补空白

提升国产化水平

通过标准化电子级五(二甲氨基)钽的生产和质量控制，提升国产材料的竞争力，减少对进口材料的依赖，保障产业链供应链安全。

中国半导体产业对高端前驱体材料的迫切需求，特别是在先进制程节点下对钽基薄