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- 2026-06-06 发布于河南
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ICS81.040.30
CCSQ35
团体标准
T/CEMIA×××－××××
集成电路外延设备用圆形反应腔室石英
穹顶
（CircularReactionChamberQuartzDomeforIntegratedCircuitEpitaxy
Equipment）
（征求意见稿）
本稿完成日期：2026年5月10日
20××-××-××发布20××-××-××实施
中国电子材料行业协会发布
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