CN202480063892.1-在化学机械抛光中用于边缘和热点补偿的沟槽-发明公开.pdfVIP

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  • 2026-06-06 发布于重庆
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CN202480063892.1-在化学机械抛光中用于边缘和热点补偿的沟槽-发明公开.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122138885A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202480063892.1(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

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