CN119871693A SiC基器件划片裂片方法及其制作的SiC基器件 （珠海格力电子元器件有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119871693A

(43)申请公布日2025.04.25

(21)申请号202411913939.7

(22)申请日2024.12.24

(71)申请人珠海格力电子元器件有限公司

地址519080广东省珠海市高新区唐家湾

镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1

层428室（集中办公区）

申请人珠海格力电器股份有限公司

(72)发明人李辉斌李理刘颖聪周天彪

陈唯一

(74)专利代理机构广东朗乾律师事务所44291

专利代理师闫有幸

(51)Int.Cl.

B28D5/00(2006.01)

H01L21/304(2006.01)

H0