GBT 46178-2025 电子级四（二甲氨基）钛技术标准PPT课件.pptxVIP

GB/T46178-2025电子级四（二甲氨基）钛技术标准

目录

02

技术指标要求

01

标准概述

03

检测分析方法

04

包装、标识与储运

05

检验规则与合规判定

06

应用与安全规范

标准概述

01

标准制定背景与目的

提升国际竞争力

通过制定与国际接轨的技术要求，推动国产电子级TDMAT产品参与全球市场竞争，打破国际巨头在高端电子材料领域的技术垄断。

保障产业链安全

该标准通过规范电子级TDMAT的技术指标，解决半导体材料依赖进口的卡脖子问题，为国产材料在原子层沉积(ALD)和化学气相沉积(CVD)工艺中的应用提供质量保障。

填补国内标准空白

针对半导体制造关键前驱体材料四(二