磁控溅射法制备TiO₂薄膜：工艺、特性与应用探索.docx

磁控溅射法制备TiO?薄膜：工艺、特性与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

TiO?作为一种重要的多功能材料，在众多领域展现出巨大的应用潜力。其独特的光学性质使其在光催化、太阳能电池、光学传感器等领域得到广泛应用。在光催化领域，TiO?能够利用光能将有机污染物分解为无害的小分子物质，实现环境净化，如降解水中的有机污染物、空气中的有害气体等，对于解决环境污染问题具有重要意义。在太阳能电池中，TiO?薄膜作为关键组成部分，能够有效地吸收光能并实现光电转换，提高太阳能电池的效率，有助于推动可再生能源的发展。

TiO?薄膜还具有良好的电学性能，可应用于电子器件中，如场效应晶体管、传感器等