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CN202480069745.5-氮化物材料和由其构成的压电体以及使用该压电体的MEMS器件、该氮化物材料和由其构成的铁电体以及使用该铁电体的电子元件-发明公开.pdfVIP

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  • 2026-06-07 发布于重庆
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CN202480069745.5-氮化物材料和由其构成的压电体以及使用该压电体的MEMS器件、该氮化物材料和由其构成的铁电体以及使用该铁电体的电子元件-发明公开.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN122139478A

    (43)申请公布日2026.06.02

    (21)申请号202480069745.5田原龙夫山田浩志

    安格莱妮·斯里·阿尤

    (22)申请日2024.08.29

    (74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569

    (30)优先权数据

    专利代理师张海丽

    2023-1889522023.11.02JP

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