CN202480069418.X-远程等离子体源-发明公开.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.67万字
  • 约 14页
  • 2026-06-07 发布于重庆
  • 举报

CN202480069418.X-远程等离子体源-发明公开.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122139232A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202480069418.X(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

(22)申请日2024.09.25

专利代理师侯颖媖黄嵩泉

(30)优先权数据

(51)Int.Cl.

63/542,7522023.10.05US

H01J37/32(2006.0

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档