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半导体原料制备工专项知识考试复习题库(附答案)
单选题
1.硅材料的热膨胀系数(CTE)是多少?
A、2.6×10^-6/K
B、2.6×10^-5/K
参考答案:A
2.区熔法(FZ)生产单晶硅的主要优点是具有极低的?
A、硅氧杂质浓度
B、电阻率
C、位错密度
参考答案:A
3.直拉法生长单晶硅时,石英坩埚内壁会沉积一层氧化物,这被称为什么?
A、脏层
B、喷砂纹
C、硅氧沉积
参考答案:A
4.单晶硅棒表面出现的橘皮状缺陷通常称为?
A、旋节分解
B、块状分解
参考答案:A
5.在多晶硅生产中,还原炉内的多晶硅沉积温度通常控制在多少度左右?
A、
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