半导体原料制备工专项知识考试复习题库(附答案).doc

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半导体原料制备工专项知识考试复习题库(附答案)

单选题

1.硅材料的热膨胀系数(CTE)是多少?

A、2.6×10^-6/K

B、2.6×10^-5/K

参考答案:A

2.区熔法(FZ)生产单晶硅的主要优点是具有极低的?

A、硅氧杂质浓度

B、电阻率

C、位错密度

参考答案:A

3.直拉法生长单晶硅时,石英坩埚内壁会沉积一层氧化物,这被称为什么?

A、脏层

B、喷砂纹

C、硅氧沉积

参考答案:A

4.单晶硅棒表面出现的橘皮状缺陷通常称为?

A、旋节分解

B、块状分解

参考答案:A

5.在多晶硅生产中,还原炉内的多晶硅沉积温度通常控制在多少度左右?

A、

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