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扩撒炉电气系统设计与维护

摘要：随着国内太阳能产业的不断发展壮大，国内太阳能设备的生产也变

得越来越成熟。整电池片生产环节中扩散环节是形成P-N结的过程，是整

电池片生产过程的核心环节。对扩散过程的严格要求无疑是对扩散设备性能

的严格要求。扩散工艺过程中温度控制系统能否按照工艺过程良好的控温直接

关系到扩散整反应过程的质量好坏。因此扩散设备的温度控制系统的优劣是

衡量扩散设备性能的关键。而衡量扩散设备优劣的关键则是其温度控制的性

能。针对传统的扩散炉控制系统的温度控制精度、生产工艺控制能力等较低的

现状,提出了一种以PLC为核心的扩散炉智能控制系统。该系统将模糊控制算

法引入传统的扩散炉控制系统，利用模糊控制规则自适应地在线对量化因子进

行修改。应用结果表明：该系统有效地实现了对多工位扩散炉温度工艺曲线和

辅助工艺的自动控制，提高了温度控制精度以及工作效率。

关键词：扩散炉；系统设计；维护

目录

1引言3

2研究现状3

3扩散炉发展简史4

4炉温度控制系统8

4.1温度串级控制单元8

4