新型显示芯片生产线项目公用工程配套方案.docx

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新型显示芯片生产线项目公用工程配套方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、项目概况 3

二、公用工程目标 4

三、总体配置原则 8

四、生产负荷分析 12

五、供电系统方案 13

六、备用电源方案 16

七、供水系统方案 18

八、纯水制备方案 21

九、废水收集方案 24

十、废水处理方案 27

十一、排水系统方案 31

十二、工艺冷却系统 35

十三、冷冻站系统 39

十四、压缩空气系统 42

十五、真空系统方案 44

十六、氮气供应系统 51

十七、特种气体系统 53

十八、暖通空调系统 54

十九

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