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CN119377681A 一种光学临界尺寸测量方法、装置、介质及设备 （匠岭科技(上海)有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-06-07 发布于重庆
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CN119377681A 一种光学临界尺寸测量方法、装置、介质及设备 （匠岭科技(上海)有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119377681A

    (43)申请公布日2025.01.28

    (21)申请号202411954763.X

    (22)申请日2024.12.26

    (71)申请人匠岭科技（上海）有限公司

    地址201306上海市浦东新区中国（上海）

    自由贸易试验区临港新片区环湖西二

    路888号C楼

    (72)发明人练勇强胡晔琳陈慧萍党江涛

    高海军

    (74)专利代理机构北京博思佳知识产权代理有

    限公司11415

    专利代理师王茹

    (51)Int.Cl.

    G06F18/214(2023.01)

    G01B11/00(2006.01)

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