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新型显示芯片生产线项目废气处理运行方案.docx

新型显示芯片生产线项目废气处理运行方案.docx

    新型显示芯片生产线项目废气处理运行方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、项目概况 5

    三、废气来源分析 9

    四、污染物特征 10

    五、处理目标 13

    六、工艺流程 14

    七、系统组成 17

    八、收集系统运行 19

    九、预处理单元运行 22

    十、主处理单元运行 25

    十一、末端净化运行 28

    十二、风机系统运行 30

    十三、药剂管理 32

    十四、在线监测管理 34

    十五、运行参数控制 36

    十六、启停操作流程 38

    十七、日常巡检要求 41

    十八、异常处置措施 44

    十九、维护保养安排

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