CN119663423A 蓝宝石晶体生长炉的温度调控方法 （浙江求是半导体设备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119663423A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202510168287.7C30B29/20(2006.01)

(22)申请日2025.02.14

(66)本国优先权数据

202411936497.82024.12.26CN

(71)申请人浙江求是半导体设备有限公司

地址311100浙江省杭州市临平区临平街

道顺达路500号1幢102室

申请人内蒙古晶环电子材料有限公司

浙江晶盛机电股份有限公司

(72)发明人曹建伟宋建军欧阳鹏根石刚

(74)专利代理机构杭州钤韬知识产权代理事务

所(普通合伙)