CN119668054A 自动sraf曝光显像抑制方法、装置、介质、程序产品及终端 （华芯程(杭州)科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119668054A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202510188571.0

(22)申请日2025.02.20

(71)申请人华芯程（杭州）科技有限公司

地址311100浙江省杭州市余杭区良渚街

道网周路99号1幢22层2208室

(72)发明人吴志强张艾莎杨爽

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219

专利代理师倪静

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

G06F30/20(2020.01)

权利要求书2页说明书9页附图7页

(54)发明名称

自动SRAF曝光显像抑制方法、装置、介质、程

序产品及终端

(57)摘要

CN119668054A本发明提供自动SRAF曝光显像抑制方法、装置、介质、程序产品及终端，通过多轮迭代优化技术手段，实现在初始曝光图形中检测到干扰图形时对SRAF放置区域进行优化，当新的曝光图形满足预设终止条件时，结束迭代优化操作，从而解决了传统方法中需重新设计SRAF放置规则所带来的时间浪费和流程复杂性问题。本发明不仅保持了SRAF的原有空间位置，最大限度地保障了对主图形分辨率的增强效果，还提升了图形的清晰度和精度，从而提高了生产效率，简化了制造过

CN11966