CN202480070649.2-具有集成电力和数据传输的衬底输送装置-公开.pdfVIP

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  • 2026-06-07 发布于重庆
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CN202480070649.2-具有集成电力和数据传输的衬底输送装置-公开.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122138889A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202480070649.2(72)发明人D·巴布斯K·舒克J·T·穆拉

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