CN202480070656.2-衬底、加热的末端执行器和包括加热的末端执行器的输送装置的主动热管理-公开.pdfVIP

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  • 2026-06-07 发布于重庆
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CN202480070656.2-衬底、加热的末端执行器和包括加热的末端执行器的输送装置的主动热管理-公开.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122139487A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202480070656.2(71)申请人博鲁可斯自动化美国有限责任公司

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