原创力文档全球市场研究报告
产品定义
大马士革铜互连电镀液及添加剂是用于半导体晶圆制造后段制程（BEOL）铜互连工艺的关键湿电子化
学品，主要作用是在已形成阻挡层和铜种子层的通孔、沟槽结构中，通过电化学沉积方式实现铜的自下而上
填充，形成低电阻、高可靠性的芯片互连线路。该产品不是普通铜电镀液，而是由高纯铜电镀基础液、加速
剂、抑制剂、整平剂、润湿剂及补充液等组成的高纯配方体系，核心目标是实现无空洞填充、低缺陷、低金
属污染、低过镀和良好的CMP兼容性。
图.双大马士革铜互连电镀工艺流程示意图
来源：QYResearch电子及半导体研究中心
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