CN202510035637.2-晶圆制造中曝光图案的标记方法-公开.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.24万字
  • 约 12页
  • 2026-06-08 发布于重庆
  • 举报

CN202510035637.2-晶圆制造中曝光图案的标记方法-公开.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122138676A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202510035637.2H10W46/00(2026.01)

(22)申请日2025.01.09

(66)本国优先权数据

202411727214.92024.11.28CN

(71)申请人上海新微技术研发中心有限公司

地址201800上海市嘉定区菊园新区胜竹

路1399号2幢9层930室

(72)发明人李婷王晨钟璐田意章周森

(74)专利代理机构苏州创智高诺知识产权代理

有限公司32843

专利代理师白莉莉

(51)Int.Cl.

H10P7

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档