原创力文档（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书
要本发明提供一种微型机械式静电振子其具有板状振动体分别相对配置在振动体的两侧并且相对振动体的外周部具有空隙的一对电极向该一对电极施加同相交流电力的供电单元获得与振动体和电极之间的静电电容的变化对应的输出的检测单元其特征在于振动体的平面形状形（10）申请公布号
CN100438334C
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