原创力文档MechatronicsProducts
NewFOUPLoadPortModelsLaunched
・TDKdevelopedandlaunchedahigh-performanceFOUPmodelcompatiblewithnext-
generation450mmwafersandanewmodelfor300mmwafersthatoffersenhancedcost
competitiveness.
July3,2012
TDKCorporationdevelopedtwonewFOUP*
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