CN119710595A 一种集成x荧光光谱仪的磁控溅射镀膜设备及其工作方法 （合肥致真精密设备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119710595A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202411951939.6

(22)申请日2024.12.27

(71)申请人合肥致真精密设备有限公司

地址230000安徽省合肥市新站区站北社

区铜陵北路与西淝河路交叉口芯视

界·科创大厦A栋9层

(72)发明人程厚义李诗意杜寅昌李玉婷

(74)专利代理机构合肥市科深知识产权代理事

务所(普通合伙)34235

专利代理师江新超

(51)Int.Cl.

C23C14/35(2006.01)

C23C14/54(2006.01)

C23C14/06(2006.01)