CN202511791940.1-使微接触针朝向接近目标物体接近的方法和粒子束显微镜-公开.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122136248A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202511791940.1

(22)申请日2025.12.01

(30)优先权数据

102024135697.92024.12.02DE

(71)申请人卡尔蔡司显微镜有限责任公司

地址德国耶拿

(72)发明人B·哈夫纳S·迪默

(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

11105

专利代理师王蕊瑞

(51)Int.Cl.

H01J37/26(2006.01)

H01J37/20(2006.01)

权利要求书3页说明书9页附图