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CN202511770152.4-静电吸盘、基板固定装置以及静电吸盘的制造方法-公开.pdfVIP

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  • 2026-06-09 发布于重庆
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CN202511770152.4-静电吸盘、基板固定装置以及静电吸盘的制造方法-公开.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN122138659A

    (43)申请公布日2026.06.02

    (21)申请号202511770152.4

    (22)申请日2025.11.28

    (30)优先权数据

    2024-2084762024.11.29JP

    (71)申请人新光电气工业株式会社

    地址日本长野县

    (72)发明人村松卓也木下裕辅

    (74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理

    有限公司11112

    专利代理师何立波张天舒

    (51)Int.Cl.

    H10P72/72(2026.01)

    权利要求书2页说明书11页附图11页

    (54)发明名称

    静电

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