CN119710641A 用于半导体处理系统的进气控制方法和半导体处理系统 （研微(江苏)半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119710641A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202411949060.8

(22)申请日2024.12.27

(71)申请人研微（江苏）半导体科技有限公司

地址214100江苏省无锡市无锡经济开发

区太湖街道震泽路688号太湖湾信息

技术产业园1号楼2201-01

(72)发明人王传道韩萍张文文

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

专利代理师杜娟

(51)Int.Cl.

C23C16/455(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

C23C16/04(2006.01)