CN202511608840.0-融合物理先验的异源Transformer晶圆三维检测系统及方法-公开.pdfVIP

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  • 2026-06-08 发布于重庆
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CN202511608840.0-融合物理先验的异源Transformer晶圆三维检测系统及方法-公开.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122134914A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202511608840.0

(22)申请日2025.11.05

(71)申请人南京航空航天大学

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