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- 2026-06-09 发布于广东
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钨钛合金薄膜的残余应力分布及其演变规律
目录
一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2
二、钨钛合金薄膜制备与基本特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
2.1主要材料与实验方法简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
2.2薄膜微观结构特征的研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
2.3薄膜表面物理性能表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
三、残余应力状态的实验表征技术．．．．．．．．．．．．
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