CN119678247A 半导体装置的制造装置及构件的抽吸方法 （株式会社新川）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119678247A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202380059180.8

(22)申请日2023.08.10

(30)优先权数据

2022-1653232022.10.14JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.11

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0292872023.08.10

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/079975JA2024.04.18

(71)申请人株式会社新川

地址日本东京武藏村山市伊奈平二丁目