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Stewart并联机构的鲁棒主动隔振控制：理论、算法与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技发展进程中，众多领域对设备运行的稳定性和精度提出了严苛要求。在精密仪器领域，如高精度光学显微镜、电子显微镜等，其工作时对微小振动极为敏感。即使是极其细微的振动干扰，也可能导致成像模糊、测量误差增大，严重影响仪器的分辨率和测量精度，进而使科研成果的准确性大打折扣。以北京地铁4号线为例，其运行时产生的振动传播到100米外的北京大学信息科学技术学院大楼，致使楼内价值数百万元的电子显微镜在高精度模式下，显示屏上原本清晰的原子图案因振动变得模糊不清。据统计，4号线开通时，北大校内价值11