高级IC处理与布局技术概览及实践.pdfVIP

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电气工程与计算机科学243–高级IC处理和布局

2004年春季学期办公时间A.R.Neureuther教授,

周一11,周五2周一1,周二,周三,周四2,CoryHall510,2‑4590

Cory299和周五3neureuth@eecs

作业#1,截止日期:2004年2月4th日,星期三

1.1工艺技术:简要描述以下工艺。(尽可能使用一句话。)

a)自对准栅

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