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CN119681783A 研磨碟、化学机械抛光设备及检测方法 （芯恩（青岛）集成电路有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-10 发布于山西
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CN119681783A 研磨碟、化学机械抛光设备及检测方法 （芯恩（青岛）集成电路有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119681783A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202311237782.6

    (22)申请日2023.09.22

    (71)申请人芯恩（青岛）集成电路有限公司

    地址266000山东省青岛市黄岛区太白山

    路19号德国企业南区401

    (72)发明人马明德鞠静静

    (51)Int.Cl.

    B24B37/20(2012.01)

    B24B37/005(2012.01)

    B24B49/00(2012.01)

    权利要求书1页说明书6页附图2页

    (54)发明名称

    研磨碟、

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