CN119786436A 互连结构的制备方法、半导体结构及化学机械研磨设备 （芯恩（青岛）集成电路有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119786436A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202411930957.6

(22)申请日2024.12.25

(71)申请人芯恩（青岛）集成电路有限公司

地址266000山东省青岛市黄岛区太白山

路19号德国企业南区401

(72)发明人王有远

(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限

公司31295

专利代理师朱笑宇

(51)Int.Cl.

H01L21/768(2006.01)

H01L23/528(2006.01)

H01L23/522(2006.01)

H01L21/67(2006.01)