CN119751407A 鎓盐类化合物，光致产酸剂、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 （湖北鼎龙芯盛科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119751407A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411908274.0

(22)申请日2024.12.24

(71)申请人湖北鼎龙芯盛科技有限公司

地址430057湖北省武汉市武汉经济技术

开发区54MB地块（东荆河路1号）办公

室507室

申请人鼎龙（潜江）新材料有限公司

湖北鼎龙控股股份有限公司

(72)发明人王鹏欧阳吉虹高越刘敏

(51)Int.Cl.

C07D317/72(2006.01)

C07C381/12(2006.01)

G03F7/20(2006.01)

G03F7/004(2006.01)