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CN119725079A 一种工艺腔室的清洗方法及半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-06-11 发布于重庆
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CN119725079A 一种工艺腔室的清洗方法及半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119725079A

    (43)申请公布日2025.03.28

    (21)申请号202411930638.5

    (22)申请日2024.12.25

    (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

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