激光干涉仪标准研究报告.docx

JB/T5610-2025激光干涉仪标准发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportonJB/T5610-2025StandardforLaserInterferometers

摘要

激光干涉仪作为精密测量领域的核心仪器，广泛应用于高端装备制造、航空航天、半导体及科研计量等领域，其性能直接关系到国家工业基础与科技创新能力。随着超精密加工技术和智能制造的发展，对激光干涉仪的测量精度、环境适应性及智能化水平提出了更高要求。原标准JB/T5610-2006《激光干涉仪》已实施近二十年，部分技术指标与检测方法已难以适应当前技术发展。为此，全国量具量仪