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CN119698388A 有机硅的深反应离子刻蚀方法 （深圳华大生命科学研究院）.docxVIP

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  • 2026-06-12 发布于山西
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CN119698388A 有机硅的深反应离子刻蚀方法 （深圳华大生命科学研究院）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119698388A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202380059439.9

    (22)申请日2023.03.29

    (85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.12

    (86)PCT国际申请的申请数据

    PCT/CN2023/0846492023.03.29

    (87)PCT国际申请的公布数据

    WO2024/197631ZH2024.10.03

    (71)申请人深圳华大生命科学研究院

    地址518083广东省深圳市盐田区北山工

    业区综合楼

    (72)发明人周博远张宇宁

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